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混氣系統3路質子GSL-3Z

簡要描述:混氣系統3路質子GSL-3Z是用于控制一種到三種的氣體流經真空密封的管式爐,這種氣體控制系統安裝在移動架內,管式爐可以放在移動架上面,氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的調節閥,可以用于CVD系統及退火爐,用來研究氣體環境對材料的影響,在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用,廣泛應用于電子工藝設備,如擴散、氧化、外延

  • 產品型號:GSL-3Z
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2016-04-15
  • 訪  問  量:3056

詳細介紹

 

產品型號

  混氣系統3路質子GSL-3Z

主要特點

  精度高,運行穩定可靠,工作壓力范圍寬,可在高壓或真空條件下工作,且操作使用方便。

技術參數

  1、電源:185-245V  50Hz

  2、zui大輸出功率:18W

  3控制范圍:控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-499SCCM

  5、準確度:±1%FS

  6、線性:±0.5-1.5%

  7、重復精度:±0.2%FS

  8、響應時間:氣特性1-4s,電特性10s針閥:316不銹鋼

  9、工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa

  10、壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid

  11、混氣罐:Φ80mm×120mm

  12截止閥:Φ1/4″316不銹鋼針閥

  13、工作溫度:5-45

產品規格

  尺寸:600mm×600mm×650mm

 

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